IminaTechnologies Micro Probe Station
Micro Probe Station
使用便於使用的電腦輔助探測系統,對樣品和測試設備進行微米級的電氣表徵。
詳細介紹

Micro Probe Station
Imina Technologies 緊湊型解決方案套件(PC15-4B)採用4個超小尺寸miBot™即我們的壓電驅動移動機器人,能夠以毫米級的分辨率獨立定位電子探頭,多功能,便攜,該解決方案的組件旨在最大限度地減少其在實驗裝置上的佔地面積,並在直立和倒置光學顯微鏡,真空室,探針台,AFM,光學麵包板等下無縫安裝,該系統與Imina Technologies 顯微鏡套件(MK18-MAN-4B)集成,成為微米級樣品和設備的電氣測試和表徵的交鑰匙解決方案。直觀而安全miBot™通過Precisio™軟件應用程序的控制板直觀地進行參數化和移動,從而進行實驗微米級微風,降低了損壞敏感樣品的風險。完全集成Precisio™軟件顯微鏡模塊提供常見的硬件設置,如亮度,增益和變焦以及功能像圖像快照和註釋,尺寸測量和視頻記錄。

系統
顯微鏡
光學分辨率:約
1.1微米, 工作距離:33.5毫米

整體放大倍率:
2.8x35.5x 通過電動變焦調節(物鏡mag10x

可調強度的同軸照明(
LED)相機:1920 x 1200像素,USB 3.0

通過亞微米螺絲調焦(範圍:
28 mm
樣品定位
手動XY平台,行程範圍:10 mm x 10 mm分辨率:0.5 mm / rev
樣本量
Ø25.4毫米(1英寸)

電動探頭
探頭數量
4 miBot™BT-14
自由程度
4每個探針獨立地驅動(XYqŽZ
運動

壓電模式:踩踏     最大。速度:2.5 mm / sXY),150 mrad / sZ)範圍:20 x 20 mm 2XY),±180°q ),42°Zž  定位分辨率:50 nmXY),120 nmZ)在機器人末端執行器測量。
探針提示
0.51 mm0.020“)柄徑和各種尖端半徑(5 nm - 10 um)的探頭尖端兼容。