Imina Nanoprobing SEM 解決方案
Nanoprobing SEM 解決方案
將探針尖端與半導體芯片接觸,測量集成元件的電氣特性並隔離缺陷 Imina的Nanoprobing SEM解決方案是微電子器件電氣特性和原位
半導體故障分析的交鑰匙工程。
詳細介紹

NanoprobingSEM解決方案
Imina Technologies的Nanoprobing SEM解決方案是微電子器件電氣特性和原位半導體故障分析的交鑰匙工程。最多可以提供多種配置的miBot™納米過濾器,以適應客戶的應用要求和設備。該miBot™ -我們的著名的易於使用的多功能piezoactuated微robots-讓您在毫米級採樣探頭,分辨率到納米定位。這些納米探針的4個自由度使操作者能夠在實驗期間容易地調節探針的取向。圓形平台可以安裝在SEM樣品定位台上,也可以通過SEM加載鎖加載。包裝提供了一套適配器,幾乎可以對任何SEM進行改造,即使是那些帶有小腔室的SEM。專為低電流測量而設計,納米結構的電氣特性可通過屏蔽電纜與第三方電源表單元(SMU)和信號分析儀進行,具有出色的信噪比。一流的原位前置放大器和掃描發生器與Nanoprobing解決方案兼容,可執行定量EBIC和低噪聲EBAC / RCI分析。雖然安裝和拆卸舞台安裝版本只需幾分鐘,並且不需要永久修改顯微鏡的腔室,但是加載鎖定兼容版本提供了最高的吞吐量來交換被測設備和探頭尖端避免打開腔室的需要。以機器人平台為中心的孔徑適合各種類型的SEM短截線,讓您可以像以前一樣觀察樣品。

 

優點
多達
8個獨立的納米定位分辨率探測器,即使是最小的芯片技術也能實現穩定的電氣接觸。

在幾分鐘內即可完成現場設備的安裝,無需對SEM進行永久性修改,從而無需專用顯微鏡。

全面的納米探測工作流程完全由Precisio™管理,Precisio™是一個統一且直觀的軟件套件,用於控制納米探針並獲取測量結果。

瑞士優質產品工程和製造,長期保修。

量身定制的服務合同,為產品安裝,維護和員工培訓提供公認的客戶支持。